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富萊FLY-MX12半導體顯微鏡是富萊光學最新開發的晶圓半導體顯微鏡,可以兼容6-12寸不同尺寸的晶圓檢測,相比國外品牌,有快速交期和超高性價比,是半導體行業顯微檢測的首選。
配置 | |
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
光學放大倍數 | 50倍-1000倍 |
落射照明器 | 進口明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調 |
三目頭 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
目鏡 | 高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調 |
物鏡 | 5倍明暗場半復消色差物鏡 NA:0.15 WD:15mm |
10倍明暗場半復消色差物鏡 NA:0.3 WD:8.4mm | |
20倍明暗場半復消色差物鏡 NA:0.40 WD:11.9mm | |
50倍明暗場半復消色差物鏡 NA:0.75 WD:3mm | |
100倍明暗場半復消色差物鏡 NA:0.9 WD:1mm | |
調焦機構 | 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程32mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統。 |
載物臺 | 14*12英寸載物臺,X、Y方向同軸調節;含快速移動裝置 有效移動行程:356X305mm 透射光照明區域:356X284mm |
機架 | 反射型機架,選配透射光源 |
燈箱 | LED長壽命光源 |
相機 | 富萊630萬彩色相機 |
軟件 | 富萊顯微圖像軟件 |
選配 | 長工作距離物鏡、偏光、微分干涉、紅外功能等功能 |
外觀尺寸/重量 | 640*701*650mm(長*寬*高) / 約65KG |